Apparatus and method of coating organic electroluminescence material

유기el 도포장치 및 방법

Abstract

노즐에서 유기EL 재료를 포함하는 도포액을 항상 안정하게 기판에 토출할 수 있다. 노즐(4a)을 구성하는 노즐본체(41)의 내부공간(SP)이 유기EL 재료(10a)를 유통(流通)시키기 위한 유로(流路)로서 기능하고 있다. 그리고, 이 유로 상에서, 또 노즐 선단에 설치된 오리피스(45a)에서 떨어진 내부위치에 필터(43)가 배치되어 있다. 이 필터(43)의 여과 정밀도는 10㎛로 되어 있으며, 이물과 겔화 용질 등을 포집(捕集)하여 오리피스(45a)에 도달하는 것을 방지한다. 이 때문에, 그들 이물등에 의한 오리피스(45a)의 구멍막힘을 확실하게 방지할 수 있다.

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    KR-101532356-B1June 29, 2015세이코 엡슨 가부시키가이샤Method for making electro-optic device and liquid ejecting device