포지티브형레지스트조성물

Abstract

본 발명에 의하면 알칼리-가용성 노보락 수지, 퀴논디아지드형 감광제 그리고 하기 화합물 (a) 및 (b) 중 하나 이상을 포함하여 이루어지는 비화학 증폭형 포지티브 레지스트 조성물이 제공된다. (a) 알칼리 현상액에 의해서 분해되어 산을 발생시키는 산-발생기 (b) 하기 화학식 4 또는 5로 표시되는 화합물 [화학식 4] [화학식 5] [단, 상기 식에서 R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , R 7 및 R 8 은 각기 독립적으로 수소, 할로겐, 히드록시, 알킬, 알콕시, 아릴 또는 니트로이고, R 9 및 R 10 은 각기 독립적으로 수소, 할로겐, 알킬, 아릴, 니트로, -(CH 2 ) n -OR 11 기 또는 -(CH 2 ) n -COOR 12 기고(이 때, R 11 은 수소, 알킬, 아릴 또는 알카노일이고, R 12 는 수소, 알킬 또는 아릴이고, n은 0 내지 3이다.), R 13 은 수소, 할로겐, 알킬, 알콕시 또는 아릴이다.]

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