Spinner apparatus for manufacturing semiconductor

반도체 제조용 스피너 장치

  • Inventors:
  • Assignees: 삼성전자주식회사
  • Publication Date: February 07, 2006
  • Publication Number: KR-100549954-B1

Abstract

본 발명은 반도체 제조용 스피너 장치에 관한 것으로서, 이를 위하여 본 발명은 웨이퍼에의 스핀 코팅을 위하여 승강 가능하게 구비되는 스핀 척의 하부에서 고정판에 안치되어 공정 수행 중 발생되는 잔류물의 배출을 안내하도록 배플 플레이트를 구비하는 반도체 제조용 스피너 장치에 있어서, 상기 배플 플레이트(10)의 내경부와 상기 내경부에 접하는 고정판(20) 및 상기 고정판(20)의 외주연 단부와 상기 외주연 단부에 접하는 배플 플레이트(10)에 각각 상호 결합에 의해 상하 이탈이 방지되게 하는 잠금 수단과 함께 측방 유동이 방지되도록 하는 가이드 수단이 형성되도록 하여 고정판(20)에서의 배플 플레이트(10)를 고정되는 조립 방식으로 이루어지게 함으로써 공정 수행 중 웨이퍼와의 충돌에 따른 웨이퍼 손상을 방지하여 공정 수율 및 제품 생산성이 극대화되도록 하는데 있다. 스피너, 스핀 코팅, 배플 플레이트, 고정판, 조립

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle