낱장별로 웨이퍼 품질관리가 수행되는 웨이퍼 생산방법 및생산 시스템

A Producing Method And A Producing System For Quality-Monitering Respective To A Piece Of Wafer

  • Inventors:
  • Assignees: 주식회사 실트론
  • Publication Date: March 03, 2006
  • Publication Number: KR-100556328-B1

Abstract

본 발명은 낱장별로 웨이퍼의 품질관리가 수행되는 웨이퍼 생산방법과 생산시스템에 대한 것이다. 본 발명은, 단결정 잉곳을 슬라이싱하고 가공하여 웨이퍼를 생산하는 생산방법으로, 중앙통제부와의 교신을 통해 작업대상 웨이퍼에 대한 정보를 추출하는 단계와; 상기 중앙통제부에 의해 상기 작업대상 웨이퍼에 부여된 작업공정을 수행하는 작업단계와; 상기 중앙통제부와의 교신을 통해 상기 작업공정에 대한 기록을 낱장 웨이퍼 별로 중앙통제부의 기억장치에 기록하는 기록단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 낱장, 웨이퍼, 자동, 바코드, 품질

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (1)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    KR-101668237-B1October 21, 2016주식회사 루미스탈질화물 반도체 기판의 표면 가공방법